T/ICMTIA 4.1-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类
标准编号:T/ICMTIA 4.1-2020
标准名称:集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类
英文名称:ArF photoresist monomer for integrated circuits Part 1: Liquid methacrylate
发布日期:2020-12-31
实施日期:2021-03-01
团体名称:中关村集成电路材料产业技术创新联盟
起草人
傅志伟、邵严亮、贺宝元、薛春、杨影影
起草单位
徐州博康信息化学品有限公司