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DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
标准编号：DB53/T 501-2013
标准名称：多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
发布日期：2013-08-01
实施日期：2013-10-01
起草人
赵建为、张云晖、于艳敏、金波、亢若谷、马启坤、杨晓静、田琦、李晓华、韩小月
起草单位
昆明冶研新材料股份有限公司
标准范围
本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。
本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定。