T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
标准编号：T/GVS 006-2022
标准名称：半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
英文名称：Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply
发布日期：2022-05-27
实施日期：2022-05-27
团体名称：广东省真空学会
起草人
胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球
起草单位
季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学
标准范围
本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。
本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
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