GB/Z 42625-2023 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性

标准编号：GB/Z 42625-2023

标准名称：真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性

英文名称：Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement

发布日期：2023-05-23

实施日期：2023-05-23

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

执行单位：全国真空技术标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

起草人

孙立臣、任国华、成永军、孙雯君、翁俊、倪博、言继春、王功发、李唯丹、郭崇武、窦仁超、张子罡、管保国、宋青竹、崔寓淏、周雪茜、赵澜、肖寅枫、唐俊聪、王帆、王莉娜、闫荣鑫、韩琰、刘恩均、李征、陈联、苏玉萍、王玲玲

起草单位

北京卫星环境工程研究所、上海精密计量测试研究所、沈阳汇真真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司、中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一0研究所、重庆云海机械制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司

标准范围

本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。

本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。

根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。

已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。

标准文档截图