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SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范
标准编号：SJ/T 11863-2022
标准名称：单片超大尺寸掩模板装载盒规范
英文名称：Specification for ultra large size mask substrate case
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
王香、曹可慰、万承华、管琪、张莹、冯亚斌、张理、付雪涛
起草单位
工业和信息化部电子工业标准化研究院、深圳清溢光电股份有限公司
标准范围
本标准规定了液晶显示器生产工艺中使用超大尺寸掩膜基板装载盒范。
本标准适用于液晶显示器生产工艺中使用盛装超大尺寸掩膜基板装载盒，本标准适用于掩模基板尺寸范围为大于等于850mmX1200mm，小尺寸参照执行。本文件适用于掩膜基板自动装卸处理，尤其对于大尺寸掩模板是必不可少的。