GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法

标准编号：GB/T 14140.2-1993

标准名称：硅片直径测量方法 千分尺法

英文名称：Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

洛阳单晶硅厂

标准范围

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