GB/T 6616-1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法

标准编号：GB/T 6616-1995

标准名称：半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法

英文名称：Test method for measuring resistivity of semiconductor silicon or sheet resistance of semiconductorfilms with a noncontact eddy-current gage

发布日期：1995-04-18

实施日期：1995-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

上海有色金属研究所

标准范围

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