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GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
标准编号：GB/T 1554-1995
标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
英文名称：Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
发布日期：1995-04-18
实施日期：1995-12-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
峨嵋半导体材料厂