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GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
标准编号：GB/T 16942-2009
标准名称：电子工业用气体 氢
英文名称：Hydrogen for electronic industry
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
周泽义、周鹏云
起草单位
中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
标准范围
u3000u3000本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。