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GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
标准编号：GB/T 30868-2014
标准名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
英文名称：Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
标准范围
本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。 本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。