GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法

国家标准

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标准编号：GB/T 36705-2018

标准名称：氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法

英文名称：Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method

发布日期：2018-09-17

实施日期：2019-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

郑树楠、张育民、王建峰、徐科、丁晓民、陆敏、石林、邱永鑫、付雪涛、杨素心、杨建

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子技术标准化研究院

本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。

本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×10¹⁷cm^-3～1×10²⁰cm^-3。