T/ICMTIA 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶

标准编号：T/ICMTIA 5.2-2020

标准名称：集成电路用ArF浸没式光刻胶

英文名称：ArF immersion photo resist for integrated circuits

发布日期：2020-12-31

实施日期：2021-03-01

团体名称：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草人

许从应、毛智彪、马潇、顾大公、陈伟琴、李珊珊

起草单位

宁波南大光电材料有限公司

标准范围