立即下载标准文件- T/GVS 009-2022 注塑模具表面纳米硬质PVD涂层评价规范
- T/GVS 008-2022 轴流风机叶轮表面抗老化PVD涂层测试方法
- T/GVS 004-2022 光学真空镀膜职业技能等级规范
- T/GVS 005-2022 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
- T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
- T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法
- T/GVS 003-2021 真空表面处理工艺用离子源
- T/GVS 002-2021 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求
- T/GVS 001-2021 真空镀膜设备 电磁兼容 屏蔽与辐射安全技术规范
T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求
标准编号：T/GVS 010-2022
标准名称：真空卷绕镀膜设备通用技术要求
英文名称：Generic specification for vacuum roll-to-roll coating plant
发布日期：2022-09-23
实施日期：2022-09-23
团体名称：广东省真空学会
起草人
朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高
起草单位
广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司
标准范围
本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。