立即下载标准文件- GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
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GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
标准编号：GB/T 16943-2009
标准名称：电子工业用气体 氦
英文名称：Gas for electronic industry - Helium
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云
起草单位
西南油气田分公司成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、北京氦普北分气体工业有限公司
标准范围
u3000u3000本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。