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GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
标准编号：GB/T 14144-1993
标准名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文名称：Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
中科院上海冶金研究所